Characterization of Ta and TaN diffusion barriers beneath Cu layers using picosecond ultrasonics
書誌事項
- タイトル
- Characterization of Ta and TaN diffusion barriers beneath Cu layers using picosecond ultrasonics
- 著者
- J.Bryner
- 公開日
- 2006
- 資源種別
- journal article
収録刊行物
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- Ultrasonics (In press)
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Ultrasonics (In press) 2006
