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Comprehensive Study of Low Temperature (<1000℃) Oxidation Process in SiGe/SOI Structures

書誌事項

タイトル
Comprehensive Study of Low Temperature (<1000℃) Oxidation Process in SiGe/SOI Structures
著者
M. Tanaka, et al.

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詳細情報

  • CRID
    1010000781684247683
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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