電気化学加工技術を利用したAlGaN/GaNヘテロ構造の低損傷リセスエッチング
書誌事項
- タイトル
- 電気化学加工技術を利用したAlGaN/GaNヘテロ構造の低損傷リセスエッチング
- 著者
- 熊崎 祐介, 植村 圭佑, 佐藤 威友
- 公開日
- 2016
- 資源種別
- journal article
収録刊行物
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- 電子情報通信学会信学技報
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電子情報通信学会信学技報 116 45-50, 2016
