高機能硬質膜のレーザー表面加工・改質技術の開発-フェムト秒レーザーによる光ナノ加工技術の開発と機能性薄膜への応用-

  • YASUMARU Naoki
    Fukui National College of Technology, Department o Mechanical Engineering, Professor

Bibliographic Information

Title
高機能硬質膜のレーザー表面加工・改質技術の開発-フェムト秒レーザーによる光ナノ加工技術の開発と機能性薄膜への応用-
Author
安丸尚樹, 他
Published
2003
Resource Type
journal article

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1010000781805109509
  • Article Type
    journal article
  • Data Source
    • KAKEN

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