著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) ,T字状フィルタードアーク蒸着におけるDLC膜成膜速度の向上,プラズマ応用と複合機能材料 14,,,2005,,,71-74,https://cir.nii.ac.jp/crid/1010000781805413255,