Observation of Etching Reactions on SiO_2/Si Surface under Co-incidence of Fluorocarbon Molecule and Ion Beam (Invited)

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タイトル
Observation of Etching Reactions on SiO_2/Si Surface under Co-incidence of Fluorocarbon Molecule and Ion Beam (Invited)
著者
H.Toyoda

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詳細情報

  • CRID
    1010000781812279683
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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