著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,赤外吸収分光法を用いたDLC薄膜成長過程の表面反応解析,応物シンポジウム 次世代半導体のための新材料デポジション&エッチングプロセス 講演資料集,,,2006,,,66-67,https://cir.nii.ac.jp/crid/1010000781820657673,