赤外吸収分光法を用いたDLC薄膜成長過程の表面反応解析
書誌事項
- タイトル
- 赤外吸収分光法を用いたDLC薄膜成長過程の表面反応解析
- 著者
- 柴田泰充
収録刊行物
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- 応物シンポジウム 次世代半導体のための新材料デポジション&エッチングプロセス 講演資料集
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応物シンポジウム 次世代半導体のための新材料デポジション&エッチングプロセス 講演資料集 66-67, 2006
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詳細情報
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- CRID
- 1010000781820657673
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- 資料種別
- journal article
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- データソース種別
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- KAKEN