赤外吸収分光法を用いたDLC薄膜成長過程の表面反応解析

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タイトル
赤外吸収分光法を用いたDLC薄膜成長過程の表面反応解析
著者
柴田泰充

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詳細情報

  • CRID
    1010000781820657673
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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