A Study on Surface Integrity ofSiC/Si Hybrid Nano-Structured Surfaces

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タイトル
A Study on Surface Integrity ofSiC/Si Hybrid Nano-Structured Surfaces
著者
Kenichiro CHUMA, Yuji FURUKAWA, Yujie HAN, Akira KAKUTA

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詳細情報

  • CRID
    1010000781870634368
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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