Effects of Al contents microstructures of Cr_<1-X>Al_XN and Zr_<1-X>Al_XN films synthesized by cathodic arc method

書誌事項

タイトル
Effects of Al contents microstructures of Cr_<1-X>Al_XN and Zr_<1-X>Al_XN films synthesized by cathodic arc method
著者
Hiroyuki Hasegawa et al.
公開日
2005
資源種別
journal article

収録刊行物

関連プロジェクト

もっと見る

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1010000781875345291
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

問題の指摘

ページトップへ