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Defect Formation in (0001)- and (1120)-Oriented 4H-SiC Crystals P^+-Implanted at Room Temperature

書誌事項

タイトル
Defect Formation in (0001)- and (1120)-Oriented 4H-SiC Crystals P^+-Implanted at Room Temperature
著者
T. Okada, et. al.

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詳細情報

  • CRID
    1010000781882224896
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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