著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) ,砥粒加工学会誌,超音波振動を援用したダイシング加工技術の開発 49・7,,,2005,,,396-401,https://cir.nii.ac.jp/crid/1010000781882362242,