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Sm-Fe合金薄膜の磁歪感受率に及ぼす残留ガス圧,スパッタリングガス圧,基板温度の影響

Bibliographic Information

Title
Sm-Fe合金薄膜の磁歪感受率に及ぼす残留ガス圧,スパッタリングガス圧,基板温度の影響
Author
高橋啓介, 増田進吾, 津嘉山 葉, 門脇 睦, 松村 義人, 西 義武

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Details

  • CRID
    1010000781883114527
  • Article Type
    journal article
  • Data Source
    • KAKEN

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