Sm-Fe合金薄膜の磁歪感受率に及ぼす残留ガス圧,スパッタリングガス圧,基板温度の影響
書誌事項
- タイトル
- Sm-Fe合金薄膜の磁歪感受率に及ぼす残留ガス圧,スパッタリングガス圧,基板温度の影響
- 著者
- 高橋啓介, 増田進吾, 津嘉山 葉, 門脇 睦, 松村 義人, 西 義武
収録刊行物
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- 日本金属学会誌 69・8
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日本金属学会誌 69・8 671-675, 2005