多結晶およびバンブー構造Al配線におけるエレクトロマイグレーション損傷しきい電流密度
書誌事項
- タイトル
- 多結晶およびバンブー構造Al配線におけるエレクトロマイグレーション損傷しきい電流密度
- 著者
- 笹川和彦(山路尚, 福士翔大)
収録刊行物
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- 応用物理学会 薄膜・表面物理分科会 第12回LSI配線における原子輸送・応力問題研究会予稿集
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応用物理学会 薄膜・表面物理分科会 第12回LSI配線における原子輸送・応力問題研究会予稿集 21-22, 2006
