パルス通電加熱したTi-Ni粉末焼結ターゲットならびにNaC1粉末焼結基板を用いたスパッ夕成膜
書誌事項
- タイトル
- パルス通電加熱したTi-Ni粉末焼結ターゲットならびにNaC1粉末焼結基板を用いたスパッ夕成膜
- 著者
- 小林慶三, 尾崎公洋, 三上祐史, 石川幸雄
収録刊行物
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- 粉体および粉末冶金 54巻2号
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粉体および粉末冶金 54巻2号 107-111, 2007