著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 花木 聡 and 山下 正人 and 内田 仁,イオンミキシング蒸着法によるBN薄膜の作製と特性評価(続報),第14回プラズマ応用科学会研究講演会プロシーディング Vol.16 March,,,2007,,,107-110,https://cir.nii.ac.jp/crid/1010000781940946202,