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FeCoB磁性薄膜集積化RFインダクタの試作

書誌事項

タイトル
FeCoB磁性薄膜集積化RFインダクタの試作
著者
福島忠広, 宗像 誠

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詳細情報

  • CRID
    1010000781941250054
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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