著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 石山 千恵美 and 肥後 矢吉,マイクロサイズ曲げ試験によるMEMS用厚膜レジストSU-8の塑性変形挙動,第54回高分子討論会予稿集 54・2,,,2005,,,4837-4838,https://cir.nii.ac.jp/crid/1010000781941745408,