マイクロサイズ曲げ試験によるMEMS用厚膜レジストSU-8の塑性変形挙動
書誌事項
- タイトル
- マイクロサイズ曲げ試験によるMEMS用厚膜レジストSU-8の塑性変形挙動
- 著者
- 石山 千恵美, 松崎 純平, 肥後 矢吉
収録刊行物
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- 第54回高分子討論会予稿集 54・2
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第54回高分子討論会予稿集 54・2 4837-4838, 2005
第54回高分子討論会予稿集 54・2 4837-4838, 2005