電子デバイス微細接合部の超音波評価
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- 燈明 泰成
- 東北大学
書誌事項
- タイトル
- 電子デバイス微細接合部の超音波評価
- 著者
- 燈明 泰成, (坂 真澄)
収録刊行物
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- 日本機械学会2005年度年次大会講演論文集 No.05-1
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日本機械学会2005年度年次大会講演論文集 No.05-1 265-266, 2005