Characterization of metal/high・k structures using monoenergetic positronbeams
書誌事項
- タイトル
- Characterization of metal/high・k structures using monoenergetic positronbeams
- 著者
- A.Uedono, T.Naito, T.Otsuka, K.Ito, K.Shiraishi, K.Yamabe, S.Miyazaki, H.Watanabe, N.Umezawa, Y.Chikyow, T.Ohdaira, R.Suzuki, Y.Akasaka, S.Kamiyama, Y.Nara and K.Yamada
収録刊行物
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- Jpn.JAppl.Phy6 46
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Jpn.JAppl.Phy6 46 3214-3218, 2007