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プラズマCVDにおけるカーボンナノチューブ成長モード圧力依存性
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- NOZAKI Tomohiro
- Tokyo Institute of Technology
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- OKAZAKI Ken
- 東京工業大学
Bibliographic Information
- Title
- プラズマCVDにおけるカーボンナノチューブ成長モード圧力依存性
- Author
- 野崎智洋, 唐津拓也, 大西空摩, 岡崎健
Journal
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- 日本機械学会論文集B編 75(756)
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日本機械学会論文集B編 75(756) 1662-1668, 2009
- Tweet
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1010000782035038089
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- Article Type
- journal article
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- Data Source
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- KAKEN