対向型バルク磁石を使った超伝導スパッタ装置の開発と放電現象の観測

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Title
対向型バルク磁石を使った超伝導スパッタ装置の開発と放電現象の観測
Author
村本大輔

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  • CRID
    1010000782044742915
  • Article Type
    journal article
  • Data Source
    • KAKEN

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