著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
安藤 大輔 and 須藤 祐司,Reflow behavior of Cu-Mn in LSI line patterns,Japanese Journal of Applied Physics,,,2014,53,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1010000782103912323,