A Multi-probe Measurement Method to Evaluate the Yaw and Straightness Errors of XY Stage on High Precision CMM

書誌事項

タイトル
A Multi-probe Measurement Method to Evaluate the Yaw and Straightness Errors of XY Stage on High Precision CMM
著者
Ping Yang, Shusaku Shibata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Osamu Sato, Sonko Osawa, Toshiyuki Takatsuji

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詳細情報

  • CRID
    1010000782105499033
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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