多点法による形状測定におけるゼロ点ずれ除去方法の検討-第2 報 ゼロ点ずれ変動監視機構の検討
書誌事項
- タイトル
- 多点法による形状測定におけるゼロ点ずれ除去方法の検討-第2 報 ゼロ点ずれ変動監視機構の検討
- 著者
- 久米, 江並, 東, 上野
収録刊行物
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- 2011年度精密工学会秋季大会予稿集
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2011年度精密工学会秋季大会予稿集 N69 2011