著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,Preliminary Investigation on Pulse Laser Deposited AlN for FBAR Application,電気学会プラズマ研究会資料,,,2011,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1010000782134178570,