Preliminary Investigation on Pulse Laser Deposited AlN for FBAR Application

書誌事項

タイトル
Preliminary Investigation on Pulse Laser Deposited AlN for FBAR Application
著者
Z.P.Wang, 他2名

収録刊行物

関連プロジェクト

もっと見る

詳細情報

  • CRID
    1010000782134178570
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

問題の指摘

ページトップへ