Preliminary Investigation on Pulse Laser Deposited AlN for FBAR Application
書誌事項
- タイトル
- Preliminary Investigation on Pulse Laser Deposited AlN for FBAR Application
- 著者
- Z.P.Wang, 他2名
収録刊行物
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- 電気学会プラズマ研究会資料
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電気学会プラズマ研究会資料 2011