Room Temperature Direct Bonding Using Fluorine Containing Plasma Activation
書誌事項
- タイトル
- Room Temperature Direct Bonding Using Fluorine Containing Plasma Activation
- 著者
- C.Wang and T.Suga
- 公開日
- 2011
- 資源種別
- journal article
収録刊行物
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- Journal of The Electrochemical Society
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Journal of The Electrochemical Society vol.158 525-529, 2011
