Highly sensitive analysis for surface contaminants by Ar gas cluster SIMS

書誌事項

タイトル
Highly sensitive analysis for surface contaminants by Ar gas cluster SIMS
著者
Kousuke Moritani, Motohiro Tanaka, Norio Inui, Kozo Mochiji
公開日
2013
資源種別
journal article

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1010000782182959361
  • Web Site
    http://10.1002/sia.5008
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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