Tilt-angle measurement of a sample stage using a capacitive liquid-based inclinometer.
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- 安永 卓生
- 九州工業大学
書誌事項
- タイトル
- Tilt-angle measurement of a sample stage using a capacitive liquid-based inclinometer.
- 著者
- Matoba, K., Takagi, J., Yasunaga, T., Jinnai, H. & Iwasaki, K.
- 公開日
- 2012
- 資源種別
- journal article
収録刊行物
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- Journal of Electron Microscopy
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Journal of Electron Microscopy 61 193-198, 2012
