著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
高橋 寛,アナログバウンダリスキャンを用いた三次元積層後のTSV 抵抗の精密計測法の実装について,電子情報通信学会技術研究報告,,,2015,115,,1-6,https://cir.nii.ac.jp/crid/1010000782247461763,