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スパッタリングより形成したAl2O3膜をゲート絶縁膜とするCLC低温poly-Si TFT
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- Hara Akito
- 東北学院大学
Bibliographic Information
- Title
- スパッタリングより形成したAl2O3膜をゲート絶縁膜とするCLC低温poly-Si TFT
- Author
- 目黒達也, 原明人
- Published
- 2013
- Resource Type
- journal article
Journal
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- IEICE Technical Report Vol.113, No.351
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IEICE Technical Report Vol.113, No.351 113 49-53, 2013
- Tweet
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1010000782255188748
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- Article Type
- journal article
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- Data Source
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- KAKEN
