Preparation of hydrogenated diamond-like carbon films using high density pulsed plasmas of Ar/C2H2 and Ne/C2H2 mixture
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- 木村 高志
- 名古屋工業大学
書誌事項
- タイトル
- Preparation of hydrogenated diamond-like carbon films using high density pulsed plasmas of Ar/C2H2 and Ne/C2H2 mixture
- 著者
- Takashi Kimura, Hikaru Kamata
- 公開日
- 2016
- 資源種別
- journal article
収録刊行物
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- Japanese Journal of Applied Physics
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Japanese Journal of Applied Physics 55 2016
