AlON/ SiO_2 Stacked Gate Dielectrics for 4H-SiC MIS Devices
書誌事項
- タイトル
- AlON/ SiO_2 Stacked Gate Dielectrics for 4H-SiC MIS Devices
- 著者
- T. Hosoi, M. Harada, Y. Kagei, Y. Watanabe, T. Shimura, S. Mitani, Y. Nakano, T. Nakamura, and H. Watanabe
- 公開日
- 2009
- 資源種別
- journal article
収録刊行物
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- Mater. Sci. Forum
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Mater. Sci. Forum 541 615-617, 2009
