Microstructures in directly bonded Sisubstrates
書誌事項
- タイトル
- Microstructures in directly bonded Sisubstrates
- 著者
- Y. Ohara, T. Ueda, A. Sakai, O. Nakatsuka, M. Ogawa, S. Zaima, E. Toyoda, H. Isogai, T. Senda, K. Izunome, H. Tajiri, O. Sakata, S. Kimura, T. Sakata, H. Mori
収録刊行物
-
- Solid-State Electronics 53
-
Solid-State Electronics 53 837-840, 2009
- Tweet
詳細情報
-
- CRID
- 1010000782440633096
-
- 資料種別
- journal article
-
- データソース種別
-
- KAKEN