Deposition of tungsten carbide thin films by a simultaneous RF sputtering
書誌事項
- タイトル
- Deposition of tungsten carbide thin films by a simultaneous RF sputtering
- 著者
- Y.Suda, K.Yukimura, K.Nakamura, K.Takaki, Y.Sakai
収録刊行物
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- Jpn. J. Appl. Phys. 45・10B
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Jpn. J. Appl. Phys. 45・10B 8449-8852, 2006