Change of Zinc Oxide Thin Film Resistively by Irradiation of Hydrogen Plasma Produced by Microwave Surface Wave

書誌事項

タイトル
Change of Zinc Oxide Thin Film Resistively by Irradiation of Hydrogen Plasma Produced by Microwave Surface Wave
著者
T.NAKAYAMA, Y.SATA, K.KASHIWAGI, et.al.

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詳細情報

  • CRID
    1010000782452318345
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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