Direct insertion of oxygen atoms into the backbonds of subsurface Si atoms using translational energies of oxygen atom beams

書誌事項

タイトル
Direct insertion of oxygen atoms into the backbonds of subsurface Si atoms using translational energies of oxygen atom beams
著者
M. Tagawa, K. Yokota, C. Sogo, A. Yoshigoe, Y. Teraoka

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詳細情報

  • CRID
    1010000782466366226
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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