Fabrication of Cantilevers by Two-Step Transfer Process without Lithography
書誌事項
- タイトル
- Fabrication of Cantilevers by Two-Step Transfer Process without Lithography
- 著者
- H. Kawata, K. Ryugou, S. Ohta, M. Yasuda, Y. Hirai
収録刊行物
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- Japanese Journal of Applied Physics (掲載確定) 48(印刷中)
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Japanese Journal of Applied Physics (掲載確定) 48(印刷中) 2009
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詳細情報
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- CRID
- 1010000782475429506
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- 資料種別
- journal article
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- データソース種別
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- KAKEN