Characteristics of Antisticking Layer Formed by CHF_3 Plasma Irradiation for Nanoimprint Molds

書誌事項

タイトル
Characteristics of Antisticking Layer Formed by CHF_3 Plasma Irradiation for Nanoimprint Molds
著者
M.Okada, K.Nakamatsu, Y.Kang, K.Kanda, Y.Haruyama, S.Matsui

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詳細情報

  • CRID
    1010000782481803155
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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