著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 服部 正,マイクロアクチュエータの超微細三次元加工技術,月刊 MATERIAL STAGE Vol.5,,,2006,,,43-48,https://cir.nii.ac.jp/crid/1010000782489776520,