電気化学反応を利用した窒化ガリウムのウェットエッチングと機能性材料
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- 佐藤 威友
- 北海道大学
書誌事項
- タイトル
- 電気化学反応を利用した窒化ガリウムのウェットエッチングと機能性材料
- 著者
- 佐藤威友、渡久地 政周
- 公開日
- 2022
- 資源種別
- journal article
収録刊行物
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- 信学技報 IEICE Technical Report
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信学技報 IEICE Technical Report 122 25-28, 2022
