n型GaN基板上に形成されたp型GaN層に対する低損傷光電気化学エッチングとその電気化学的評価

Bibliographic Information

Title
n型GaN基板上に形成されたp型GaN層に対する低損傷光電気化学エッチングとその電気化学的評価
Author
髙津海、久保広大、佐藤威友
Published
2023
Resource Type
journal article

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1010021218992484225
  • Article Type
    journal article
  • Data Source
    • KAKEN

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