n型GaN基板上に形成されたp型GaN層に対する低損傷光電気化学エッチングとその電気化学的評価
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- 佐藤 威友
- 北海道大学
書誌事項
- タイトル
- n型GaN基板上に形成されたp型GaN層に対する低損傷光電気化学エッチングとその電気化学的評価
- 著者
- 髙津海、久保広大、佐藤威友
- 公開日
- 2023
- 資源種別
- journal article
収録刊行物
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- 電子情報通信学会技術研究報告
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電子情報通信学会技術研究報告 123 28-31, 2023
