High Rate Growth of Highly-Crystallized Ge Films on Quartz from VHF Inductively-Coupled Plasma of GeH_4 + H_2

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タイトル
High Rate Growth of Highly-Crystallized Ge Films on Quartz from VHF Inductively-Coupled Plasma of GeH_4 + H_2
著者
T. Sakata

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詳細情報

  • CRID
    1010282256614327058
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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