High Rate Growth of Highly-Crystallized Ge Films on Quartz from VHF Inductively-Coupled Plasma of GeH_4 + H_2
書誌事項
- タイトル
- High Rate Growth of Highly-Crystallized Ge Films on Quartz from VHF Inductively-Coupled Plasma of GeH_4 + H_2
- 著者
- T. Sakata
収録刊行物
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- Materials Science Forum 561-565
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Materials Science Forum 561-565 1209-1212, 2007
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詳細情報
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- CRID
- 1010282256614327058
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- 資料種別
- journal article
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- データソース種別
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- KAKEN