著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 高尾 英邦 and 澤田 和明,Fabrication and Properties of Ultra Small Si Wire Arrays with Circuits by Vapor-Liquid-Solid Growth,Sensors and Actuators A 97-98,,,2002,,,709-715,https://cir.nii.ac.jp/crid/1010282256753445504,