High-speed precision-surface profilometry using large phase shifting
書誌事項
- タイトル
- High-speed precision-surface profilometry using large phase shifting
- 著者
- M.Adachi, K.Ueda
収録刊行物
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- Proceedings of SPIE 5264
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Proceedings of SPIE 5264 322-331, 2003
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詳細情報
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- CRID
- 1010282256756342788
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- 資料種別
- journal article
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- データソース種別
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- KAKEN