Piezoelectric microactuators composed of PZT thin films on Si substrates

書誌事項

タイトル
Piezoelectric microactuators composed of PZT thin films on Si substrates
著者
Isaku Kanno, Yoshiro Tazawa, Takaaki Kunisawa, Takaaki Suzuki, Hidetoshi Kotera

収録刊行物

関連プロジェクト

もっと見る

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1010282256777470218
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

問題の指摘

ページトップへ