著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,Resist Outgassing Charateristics in EUVL,Jpn.J.Appl.Phys 43,,,2004,,,3713-3717,https://cir.nii.ac.jp/crid/1010282256778069287,